ГОСТ Р ИСО 14644-12-2020

Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 12. Требования к текущему контролю чистоты воздуха по концентрации частиц с размерами в нанодиапазоне

Ссылка на оригинал: Открыть страницу документа
Статус: Действует
Дата введения: 01.12.2020
Код ОКС: 13.040.35,19.020,07.030

PDF-файл для этого документа еще не загружен.