ГОСТ Р 72477-2025
Оборудование специальное технологическое, применяемое в микроэлектронном производстве. Общие технические условия
Ссылка на оригинал:
Открыть страницу документа
Статус:
Действует
Дата введения:
01.07.2026
Код ОКС:
31.240
Просмотр документа
100%
Скачать PDF
Загрузка PDF...