ГОСТ 26239.8-84
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Ссылка на оригинал:
Открыть страницу документа
Статус:
Действует
Дата введения:
01.01.1986
Код ОКС:
29.045
PDF-файл для этого документа еще не загружен.