ГОСТ 25196-82
Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Ссылка на оригинал:
Открыть страницу документа
Статус:
Действует
Дата введения:
30.06.1983
Код ОКС:
23.160
PDF-файл для этого документа еще не загружен.